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抛光氧化铝的改性知识
日期:[2015/2/8 14:36:36]   共阅[1827]次
  想必大家对抛光氧化铝各方面都有一定的了解了,还有一些比较深入的问题需要跟大家讨论一下,今天的内容是有关抛光氧化铝的改性知识,希望大家可以认真看一下。
  为了提高抛光氧化铝磨料分散稳定性和防止团聚,利用丙烯酰氯对抛光氧化铝进行了表面改性,并用XPS、激光粒度仪、SEM对其进行表征,结果表明改性后的氧化铝分散性明显提高;研究了改性后氧化铝在数字光盘玻璃基片中的化学机械抛光特性,即外加压力、抛光时间和下盘转速对玻璃基片去除量的影响,并对其CMP机制进行了推断,结果表明,材料去除量随下盘转速、压力变化趋势相近,即随着压力的增加或下盘转速的提高,材料去除量先增大后减小;随抛光时间延长,抛光初期材料去除量增加较快,但在后段时间内去除量增加趋势趋于平缓。
  以上就是有关抛光氧化铝的一些知识,大家可以参考一下。今天的内容就介绍到这里,希望对您有所帮助,想要了解更多知识可以继续关注我们。
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